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激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、最高測速下分辨率高等特點，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此，激光干涉儀廣泛應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、高端設備制造等領域。
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